図は、低速のXYステージを制御しながら、対象物の観測を行うシステム構成例です。対象物の状態を検出器で電気信号に変換し、高速にAD変換することでモニタリングします。FPGAでFFT処理することで周波数解析も可能です。
【構成例のシステムブロック図】
【計測タイミング】
【ステージ制御タイミング】
図は、低速のXYステージを制御しながら、対象物の観測を行うシステム構成例です。対象物の状態を検出器で電気信号に変換し、高速にAD変換することでモニタリングします。FPGAでFFT処理することで周波数解析も可能です。