システム構成例 (APX-5040)

図は、低速のXYステージを制御しながら、対象物の観測を行うシステム構成例です。対象物の状態を検出器で電気信号に変換し、高速にAD変換することでモニタリングします。FPGAでFFT処理することで周波数解析も可能です。

◎システムのブロック図
システムのブロック図
◎計測タイミング計測タイミング
◎ステージの計測タイミングステージの計測タイミング